(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123340034.X (22)申请日 2021.12.28 (73)专利权人 苏州镭明激光科技有限公司 地址 215123 江苏省苏州市金鸡湖大道 99 号04幢102室 (72)发明人 施心星　 (74)专利代理 机构 北京恒博知识产权代理有限 公司 11528 专利代理师 张晓芳 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 5/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种清洗装置 (57)摘要 本申请公开了一种清洗装置， 包括机架、 三 通件、 进气管道、 进液管道以及喷头。 三通件具有 混合腔， 三通件与机架连接； 进气管道的出口与 混合腔连通， 进气管道上设置有进气阀； 进液管 道的出口与混合腔连通， 进液管道上设置有进液 阀； 喷头的进口与所述混合腔连通。 在本申请实 施例中的清洗装置可以独立控制进气阀与进液 阀， 同时开启进气阀与进液阀， 使得气体与液体 可以形成混合流体， 以对待清洗件进行清洗； 还 可以单独开启进气阀， 以对 待清洗件 进行干燥。 权利要求书1页 说明书5页 附图1页 CN 217748295 U 2022.11.08 CN 217748295 U 1.一种清洗装置， 其特 征在于， 包括： 机架； 三通件， 具有混合腔， 所述 三通件与所述机架连接； 进气管道， 所述进气管道的出口与所述混合腔连通， 所述进气管道上设置有 进气阀； 进液管道， 所述进液 管道的出口与所述混合腔连通， 所述进液 管道上设置有 进液阀； 喷头， 所述喷头的进口与所述混合腔连通。 2.根据权利要求1所述的清洗装置， 其特征在于， 所述机架包括转杆与底座， 所述转杆 沿竖向设置， 所述 转杆绕其轴向与所述底座 转动连接， 所述 三通件与所述 转杆连接。 3.根据权利要求2所述的清洗装置， 其特征在于， 所述机架还包括连接件， 所述连接件 与所述三通件连接， 所述连接件 包括安装部， 所述 安装部与所述 转杆固定连接 。 4.根据权利要求3所述的清洗装置， 其特征在于， 所述连接件还包括摆臂， 所述三通件 位于所述摆臂远离所述 安装部的一侧。 5.根据权利要求4所述的清洗装置， 其特征在于， 所述摆臂包括转动部， 所述转动部绕 第一预设方向转动， 所述第一预设方向与所述 转杆的轴向平行。 6.根据权利要求4所述的清洗装置， 其特征在于， 所述摆臂包括移动部， 所述移动部沿 第二预设方向移动， 所述第二预设方向与所述 转杆的轴向垂直。 7.根据权利要求5或6所述的清洗装置， 其特征在于， 所述进气管道以及所述进液管道 均通过固定件安装于所述连接件。 8.根据权利要求2所述的清洗装置， 其特征在于， 所述进气管道以及所述进液管道均为 软管。 9.根据权利要求1所述的清洗装置， 其特 征在于， 所述喷头包括 二流体喷头 。 10.根据权利要求1所述的清洗装置， 其特征在于， 所述喷头通过密封圈与所述三通件 密封连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217748295 U 2一种清洗装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及晶圆制造 工艺技术领域， 尤其涉及一种清洗装置 。 背景技术 [0002]在半导体晶圆的生产过程中， 有一道工序为晶圆清洗， 需要清洗掉晶圆表面的激 光开槽保护胶、 杂质及灰尘， 以便实施晶圆的后续加工操作。 在相关技术中， 清洗晶圆时会 采用在晶圆表面先喷清洗液再喷气的加工方式， 如果喷到晶圆表面的水不均匀的话， 气体 再喷到晶圆表面， 有可能导致水在晶圆表面上并不是均匀的流动， 从而导致晶圆表面清洗 不均匀。 实用新型内容 [0003]本实用新型提供一种清洗装置， 能够更均匀的清洗待清洗件。 [0004]具体的， 本申请实施例提供一种清洗装置， 包括机架、 三通件、 进气管道、 进液管道 以及喷头 。 [0005]所述三通件具有混合腔， 所述三通件与所述机架连接。 所述进气管道的出口与所 述混合腔连通， 所述进气管道上设置有进气阀； 所述进 液管道的出口与所述混合腔连通， 所 述进液管道上设置有 进液阀。 所述喷头的进口与所述混合腔连通。 [0006]根据一些实施例， 所述机架包括转杆与底座， 所述转杆沿竖向设置， 所述转杆绕其 轴向与所述底座转动连接， 所述三通件与所述转杆连接。 所述转杆绕其轴向转动可以带动 所述三通件以及所述喷头转动， 从而 可以均匀的喷洒混合流体或气 体到所述待清洗件的表 面。 [0007]根据一些实施例， 所述机架还包括连接件， 所述连接件与所述三通件连接， 所述连 接件包括安装部， 所述安装部与所述转杆固定连接。 固定连接可以防止所述转杆转动时所 述连接件与所述转杆之间发生相对移动， 而所述转杆带动所述连接件、 所述三通件以及所 述喷头转动， 使得 所述喷头可以均匀的、 稳定的向所述待清洗件表面喷洒混合 流体或气体。 [0008]根据一些实施例， 所述连接件还包括摆臂， 所述三通件位于所述摆臂远离所述安 装部的一侧。 所述转杆带动所述摆臂以及所述三通件转动时， 所述喷头可以将混合流体或 气体喷洒到所述待清洗件表面更大 的范围内， 从而可以将所述待清洗件表面的保护胶、 杂 质及灰尘充分的清洗 干净。 [0009]根据一些实施例， 所述摆臂包括转动部， 所述转动部绕第一预设方向转动， 所述第 一预设方向与所述转杆的轴向平行。 所述摆臂带动所述三通件以及所述喷头在一个较大的 圆周上转动， 所述转动部带动所述三通件以及所述喷头在一个较小的圆周上转动。 使得所 述喷头可以在所述待清洗件表面更大的范围内 喷洒混合流体或气体， 从而 可以喷洒到所述 待清洗件表面的各个部分， 也使得 所述待清洗件可以得到更均匀的清洗或干燥。 [0010]根据一些实施例， 所述摆臂包括移动部， 所述移动部沿第二预设方向移动， 所述第 二预设方向与所述转杆的轴向垂 直。 所述移动部可以带动所述三通件沿所述第二预设方向说　明　书 1/5 页 3 CN 217748295 U 3