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ICS 71.040.40 G 04 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T22572—2008/IS020341:2003 表面化学分析 二次离子质谱 用多层参考物质 评估深度分辨参数的方法 Surface chemical analysis--Secondary-ion mass spectrometry- Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials (ISO 20341:2003,IDT) 2008-12-11发布 2009-10-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T22572—2008/1S020341:2003 前言 本标准等同采用ISO20341:2003《表面化学分析 斤——二次离子质谱--—-用多层参考物质评估深 度分辨参数的方法》。 为便于使用,本标准对ISO20341:2003做了下列编辑性修改: 删除了原国际标准的前言部分; 将本国际标准改为本标准。 本标准的附录A为规范性附录。 本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口。 本标准负责起草单位:信息产业部专用材料质量监督检验中心。 本标准主要起草人:马农农、何友琴、何秀坤。 I

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