ICS71.100.20 CCSG86 中华人民共和国国家标准 GB/T43976—2024 电子气体 四氟甲烷 Electronicgas—Tetrafluoromethane 2024-04-25发布 2024-11-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布 前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。 本文件起草单位:浙江省化工研究院有限公司、昊华气体有限公司、杭氧集团股份有限公司、中船 (邯郸)派瑞特种气体有限公司、广东华特气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、浙江巨化技术中 心有限公司、中化蓝天氟材料有限公司、江西华特电子化学品有限公司、福建久策气体股份有限公司、 江苏雅克科技股份有限公司、上海伟创标准气体分析技术有限公司、金宏气体股份有限公司、浙江海纳 半导体股份有限公司、杭州德成科技服务有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、杭州市消费者权益 保护委员会秘书处(杭州国家电子商务产品质量监测处置中心)、浙江解氏新材料股份有限公司、宿州伊 维特新材料有限公司、浙江省标准化研究院、中国计量大学、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱 分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资(上海)有限公司、 沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、和立气体(上海)有限公司、昆明广瑞 达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、 西南化工研究设计院有限公司双流分公司。 本文件主要起草人:史婉君、王娟、张琦炎、罗霞、胡迎、付梦月、李企真、朱晓平、王占卫、袁瑞玲、 傅铸红、陈艳珊、马建修、陈程、褚人财、李霞、何西、禹金龙、曹素英、何经余、沈琦、郭华轩、王新喜、孙猛、 沈益军、潘金平、洪倩、石林、吕博文、万娟秀、朱明、谈益强、刘亮、张朋越、陈洁、吴靓、方华、郑新蕊、 何波、黄小强、黄辉、刘扬涛、宫兵、易达文、李阳、梁永强、梁成科、高静、赵帅德、马昌宁、周鹏云、刘定川、 彭诚。 ⅠGB/T43976—2024