ICS 71.100.20 G 86 团 体 标 准 T/CCGA 30001—2019 超纯氨 Ultra pure ammonia 2019-10-29发布 2020-01-29实施 中国工业气体工业协会 发布 全国团体标准信息平台 全国团体标准信息平台 T/CCGA 30001—2019 I 目 次 前言 ................................ ................................ ................ II 1 范围 ................................ ................................ .............. 1 2 规范性引用文件 ................................ ................................ .... 1 3 技术要求 ................................ ................................ .......... 1 4 试验方法 ................................ ................................ .......... 2 5 标志、包装、贮运及安全 ................................ ............................ 3 全国团体标准信息平台 T/CCGA 30001—2019 II 前 言 本标准按照 GB/T 1.1 -2009给出的规则起草。 本标准由中国工业气体工业协会提出并归口。 本标准起草单位： 苏州金宏气体股份有限公司 、中国工业气体工业协会。 本标准主要起草人： 金向华、许军州、 洑春干、魏入铎、庄坤华 、宋芳芳。 全国团体标准信息平台 T/CCGA 30001—2019 1 超纯氨 1 范围 本标准规定了超 纯氨产品的技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于工业液氨通过吸附预纯化、精馏提纯、终端纯化生产的 超纯氨产品。该产品是微电子 氮化硅掩蔽膜的主要原材料，是半导体、光电子领域、发光二极管（ LED）行业的重要原材料。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则 GB/T 5099 钢质无缝气瓶 GB/T 5832.3 气体中微量水分的测定 第3部分：光腔衰荡光谱法 GB/T 7144 气瓶颜色标志 GB/T 14193 液化气体气瓶充装规定 GB/T 14601 -2009 电子工业用气体 氨 GB 15258 化学品安全标签编写规定 GB/T 16483 化学品安全技术说明书 内容和项目顺序 GB/T 16804 气瓶警示标签 JT/T 617 危险货物道路运输规则 气瓶安全技术监察规程 3 技术要求 3.1 产品质量 超纯氨产品的质量应符合表 1的要求。 3.2 重金属含量 超纯氨重金属含量应符合表 2的要求。 表1 超纯氨产品技术指标 项目 指标 氨（NH3）纯度（体积分数） /10-2 ≥ 99.99999 氢（H2）含量（体积分数） /10-6 ＜ 0.01 氧+氩（O2+Ar）含量（体积分数） /10-6 ＜ 0.01 氮（N2）含量（体积分数） /10-6 ＜ 0.01 一氧化碳（ CO）含量（体积分数） /10-6 ＜ 0.01 二氧化碳（ CO2）含量（体积分数） /10-6 ＜ 0.01 全国团体标准信息平台 T/CCGA 30001—2019 2 表1（续） 烃（C1～C3）含量（体积分数） /10-6 ＜ 0.01 水分(H2O) 含量（体积分数） /10-6 ＜ 0.05 总杂质含量（体积分数） /10-6 ≤ 0.1 表2 超纯氨产品重金属技术指标 重金属含量 /10-6（质量分数） 气相 液相 锑（Sb） ＜ 0.005 0.005 镉（Cd） ＜ 0.001 0.001 钙（Ca） ＜ 0.01 0.05 铬（Cr） ＜ 0.001 0.005 钴（Co） ＜ 0.001 0.001 铜（Cu） ＜ 0.005 0.01 镓（Ga） ＜ 0.001 0.01 碲（Te) ＜ 0.005 0.01 铅（Pb） ＜ 0.001 0.001 锂（Li） ＜ 0.001 0.001 镁（Mg） ＜ 0.001 0.005 锰（Mn） ＜ 0.001 0.005 钼（Mo） ＜ 0.001 0.001 镍（Ni） ＜ 0.001 0.01 钾（K） ＜ 0.001 0.001 硅（Si） ＜ 0.01 0.05 钠（Na） ＜ 0.005 0.01 锡（Sn） ＜ 0.001 0.005 锌（Zn） ＜ 0.005 0.01 4 试验方法 4.1 抽样、判定和复验 4.1.1 超纯氨产品应 按表1中所有要求 逐一气相检验并验收，当检验结果有任何一项指标不符合表 1 的技术要求时， 则判该产品不合格 。 4.1.2 超纯氨产品的重金属含量应每半年检验一次，除此之外，当工艺发生变更或有异常调整时应对 重金属含量进行检验，可委托第三方检验机构进行送样检验， 检验结果应符合表 2的要求，当检验结果 有任何一项指标不符合表 2中技术要求时，则判该产品不合格。 4.1.3 超纯氨采样安全应符合 GB/T 3723 的规定。 4.2 超纯氨的纯度 产品纯度按式 （1）计算： Φ=100-（Φ1+Φ2+Φ3+Φ4+Φ5+Φ6+Φ7）×10-4………………… (1) 全国团体标准信息平台 T/CCGA 30001—2019 3 式中： Φ——氨纯度（体积分数）， 10-2； Φ1——氢含量（体积分数）， 10-6； Φ2——氧含量（体积分数）， 10-6； Φ3——氮含量（体积分数）， 10-6； Φ4——氧化碳含量（体积分数）， 10-6； Φ5——二氧化碳含量（体积分数）， 10-6； Φ6——烃（C1～C3）含量（体积分数）， 10-6； Φ7——水分含量（体积分数）， 10-6。 4.3 氢、氧（氩）、氮、一氧化碳、二氧化碳、烃（ C1～C3）含量的测定 按GB/T 14601 -2009中4.4的规定执行 ，允许采用其它等效方法测定。当测定结果有异议，以 GB/T14601-2009规定的方法为仲裁方法。 4.4 水分含量的测定 按GB/T5832.3 的规定执行 。允许采用其它等效方法测定 ，当测定结果有异议，以 GB/T5832.3规定的 方法为仲裁方法。 4.5 金属离子含量的测定 使用电感耦合等离子体质谱（ ICP-MS）检测仪。 5 标志、包装、贮运及安全 5.1 标志、包装 5.1.1 气瓶颜色标志应符合 GB/T 7144 的规定,气瓶的运输标志应符合 GB 190、JT/T 617 的规定。 5.1.2 超纯氨气瓶应符合 GB/T 5099 、《气瓶安全技术监察规程 》的规定，气瓶标签应符合 GB16804、 GB15258规定的要求 。 5.1.3 超纯氨气瓶 应经过内表面处理， 符合《气瓶安全技术监察规程 》的要求，气瓶内表面粗糙度 （ Ra） 应不大于 0.4μm，并应满足本标准对水分的要求。超纯 氨气瓶的定期检验应符合 《气瓶安全技术监察 规程》的规定，检验周期为 8年。 5.1.4 超纯氨气瓶瓶阀应为钢质，不应使用铜或铜合金瓶阀，宜使用 DISS720。 5.2 充